Оборудование центра

Аналитическое оборудование

  1. Времяпролетный масс-спектрометр IONTOF SIMS5 (ION-TOF GmbH, ФРГ) — 2007 г. выпуска.
  2. Вторичный ионный масс-спектрометр IMS-4F (CAMECA, Франция) — 1986 г. выпуска.
  3. Просвечивающий электронный микроскоп Tecnai G2 F20 U-TWIN (FEI, Нидерланды) — 2009 г. выпуска.
  4. Двулучевая FIB-SEM система Quanta 3D 200i (FEI, Нидерланды) — 2011 г. выпуска.
  5. Оборудования для пробоподготовки (Fischion Instruments, США) — 2011 г. выпуска.
  6. Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп с комплексом диагностики наноструктур Supra 40 (Carl Zeiss, ФРГ) с приставкой INCAx-act (Qxford Instruments) — 2008 г. выпуска.
  7. Микроскоп электронный LEO 430 SEM (Carl Zeiss, Германия — Великобритания) — 1992 г. выпуска.
  8. 3D-нанозондовая система «GPI- Cryo-SEM» — сканирующий туннельный микроскоп на базе вакуумной системы СЭМ Supra 40 с системой пробоподготовки (Протон-МИЭТ) — 2009 г. выпуска.
  9. Класс мультимикроскопов CM-2000 и профилометров модели 130 (ЗАО «Протон-МИЭТ», Россия) — 2008 г. выпуска.
  10. Спектрометр Оже PHI-660 (Perkin-Elmer, США) — 1987 г. выпуска.
  11. Спектрометр ИК Фурье IFS-113v (Bruker, Германия) — 1988 г. выпуска.
  12. Измерительный комплекс Oriel I-V (Newport, США) — 2009 г. выпуска.
  13. Рентгеновский дифрактометр ARL X'tra (Thermo Fisher Scientific, Швейцария) — 2010 г. выпуска.
  14. Спектрометр электронного парамагнитного резонанса Adani CMS 8400 (Adani, Республика Беларусь) — 2011 г. выпуска.
  15. Рамановский спектрометр EnSpectr R532 (ООО «ИнСпектр», Россия)— 2011г.выпуска.
  16. Оптический цифровой микроскоп Keyence VHX-2000 ( Keyence, Япония)— 2014г. выпуска.


Технологическое оборудование

  1. Установка плазмохимического осаждения MINI GOUPYL (Alcatel, Франция)— 1989г. выпуска.
  2. Установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab100 (QxfordInstruments)— 2012г. выпуска.
  3. Установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (SUSS MicroTec, Германия) – 2012 г. выпуска.
  4. Установка магнетронного напыления «Оратория 22» с комплектом регуляторов расхода газа MKS (1179А – 4 шт.) с четырехканальным блоком управления (247D).
  5. Установка магнетронного напыления «Оратория 5» с комплектом регуляторов расхода газа MKS (1179А – 4 шт.) с четырехканальным блоком управления (247D).
  6. Установка дисковой резки Logitech APD2. (Logitech LTD, Великобритания) — 2014 г. выпуска.
  7. Установка спрей-нанесения фоторезиста Sawatec iSpray-300. (Sawatec, Швейцария) — 2014 г. выпуска

Уникальные научные установки

  1. Установка ионной имплантации с системой RBS анализа K2MV (НVЕЕ, Нидерланды)— 1989г. выпуска.