Общие сведения о Центре

Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур» создан при Ярославском госуниверситете 1 ноября 2006 г., приказ №382, решение Ученого совета ЯрГУ от 24.10.2006 г.

Центр входит в национальную нанотехнологическую сеть.

Общие сведения о Центре (.pdf)

Буклет Центра (.pdf)

Программа развития Центра на 2012 – 2016 г.г. (.pdf) 

Регламент работы Центра (.pdf)

Центр участвует в мероприятиях Федеральных целевых программ:

  • Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы.
  • Научные и научно-педагогические кадры инновационной России.

Центр расположен на площади ~ 1000 м2, общая численность персонала — 49 человек, в том числе: докторов 12, кандидатов наук 14, аспирантов 4, студентов 12.

Объем научно-исследовательских работ за 2008 - 2011 г.г. — 347,856 млн. руб.


orlikovsky1.jpg

Директор Центра
академик РАН,
директор ФТИАН
А.А.Орликовский

А.С. Рудый.jpg

Заместитель директора ЦКП,
директор Ярославского
филиала ФТИАН
профессор А.С.Рудый


Центр располагает самым современным аналитическим и диагностическим оборудованием для выполнения следующих видов работ:

  • Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники;
  • Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области микросистемной техники:
    • глубокое анизотропное плазмохимическое травление (Plasmalab 100)
    • двухсторонняя литография (SUSS MJB4)
  • Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области химических источников тока (совместно с ИФХЭ РАН):
    • изготовление тонкопленочных нанокомпозитных анодов (Оратория 22 с системой РРГ MKS)
    • изготовление тонкопленочных нанокомпозитных катодов (Оратория 5 с системой РРГ MKS)
  • Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
  • Заказной анализ широкого класса объектов методами:
    • вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
    • времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
    • электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
    • туннельной сканирующей микроскопии (GPI-Cryo-SEM);
    • электронно-ионной сканирующей микроскопии (Quanta 3D 200i);
    • просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
    • зондовой микроскопии (СММ 2000) и профилометрии (модель 130);
    • обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
    • оже-спектроскопии (PHI-660);
    • ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
    • рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
    • Рамановской спектрометрии (EnSpector R532);
  • Научно-образовательные услуги:
    • обеспечение основной образовательной программы «Электроника и наноэлектроника». Программа включена в реестр образовательных программ ОАО Роснано http://edu-reestr.rusnano.com/;
    • повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники. Программа включена в реестр  ОАО Роснано http://edu-reestr.rusnano.com/;
    • поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
    • экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.