Установка ионной имплантации K2MV с системой RBS-анализа

Установка ионной имплантации на базе ускорителя K2MV (HVEE, Нидерланды) с системой спектроскопии обратного резерфордовского рассеяния (RBS-анализа) позволяет выполнять ряд уникальных работ, требующих использования ионов средних и высоких энергий, таких как:

  • анализ различных структур методом RBS;
  • имплантация ионов различных химических элементов с минимумом потерь имплантируемого элемента, обусловленных рассеянием первичных ионов;
  • имплантация тяжелых ионов;
  • имплантация молекулярных и кластерных ионов;
  • формирование заданных распределений имплантируемой примеси с помощью варьирования в широких пределах энергии первичных частиц.

«K2MV»
«K2MV»
«K2MV»
















Положение об УНУ K2MV

Приложение 2 к Положению об УНУ K2MV - Перечень научного оборудования
Приложение 3 к Положению об УНУ K2MV - Порядок оказания услуг на K2MV
Приложение 4 к Положению об УНУ K2MV - Регламент выполнения работ (услуг) на K2MV