Цены на услуги центра


 
Прибор Стоимость работ при
заключении договора
со сторонними пользователями
(руб./час)
Аналитическое оборудование
1 ВИМС IONTOF SIMS5 3500
2 ВИМС IMS-4F 2500
3 ПЭМ G2 F20 U-TWIN 8500
4 СЭМ Supra 40 2500
5 АСМ/СТМ 2000
6 Quanta 3D 200i
6.1Пробоподготовка3500
6.2Анализ2500
7 Профилометр 130 1200
8 Комплекс Oriel I-V 2500
9Рентгеновский дифрактометр
 ARL X'TRA
2300
10Рамановский спектрометр
EnSpectr R532
1500
11Спектрометр ПК Фурье IFS-113v2500
12ЗD-нанозондовая система «GPI-Cryo-SEM»2300
13Спектрометр электронного парамагнитного
резонанса Adani CMS 8400
2000
14Спектрометр Оже PHI-6603000
15Микроскоп электронный сканирующий LEO
2500
16Калориметр дифференциальный сканирующий
DSC 204/ 1/G Phoenix
1500
17Автоматизированный зарядно-разрядный измерительно-вычислительный
комплекс
500
Технологическое оборудование
1
Установка плазмохимического травления и
осаждения Plasmolab 100
5500
2
установка совмещения и экспонирования Suss mjb4
2500
3
Установка дисковой резки Logitech APD2
2000
4
Оптический цифровой микроскоп высокого разрешения Keyence VHX-1000
1500
5
Установка магнетронного напыления «Оратория 22»

5.1
С использованием регуляторов расхода газа
3000
5.2
Без использования регуляторов расхода газа
1800
6
Установка магнетронного напыления «Оратория 5»

6.1С использованием регуляторов расхода газа3000
6.2Без использования регуляторов расхода газа1600
7Установка ионной имплантации с системой RBS анализа K2MV4500
8Установка плазмохимического осаждения MINI GOUPYL1500
9Установка спрей-нанесения фоторезиста Sawatec iSpray-3002300

При расчете стоимости не типовых услуг в общую смету могут быть включены расходы по пробоподготовке нестандартных образцов и разработку методики их исследования.