Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр IONTOF SIMS5
Виды ВИМС-анализа:
- Послойный элементный анализ поверхностных слоев наноматериалов и наноструктур методом вторичной ионной масс-спектрометрии, в том числе:
- послойный анализ функциональных элементов интегральных микросхем,
- послойный анализа сверхрешеток,
- контроль дозы легирующих примесей в полупроводниках и структурах на их основе.
- Количественный элементный анализ наноматериалов различными методами ионной масс-спектрометрии.
- Физико-химический анализ микрочастиц с размерами менее 0,1 мкм.
- Трехмерный анализ распределения элементов.
- Исследования примесей и дефектов в кристаллах и минералах.
- Физико-химический анализ биоорганических нанообъектов.
- Количественный микроанализ для геологии и экологии.
