Установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab100

Обработка пластин до 200 мм.

• Реактивное ионное травление
    
• Плазмохимическоe осаждение с источником   индуктивно-связанной плазмы
    
• Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы