Установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab100

«K2MV»

Обрабатывают пластины до 200 мм.

 
  • Реактивное ионное травление
  •     
  • Плазмохимическоe осаждение с источником   индуктивно-связанной плазмы
  •     
  • Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы