3D-нанозондовая система «GPI-Cryo-SEM»

Виды анализа методом сканирующей зондовой микроскопии высокого разрешения:

• Получение изображений в режиме туннельного микроскопа.
• Определения толщины тонких слоев покрытий и гетероструктур в диапазоне 1 — 100 нм.
• Электрофизические измерения структур микро- и наноэлектроники.
• Нанолитография.
• Спектроскопические исследования структур микро- и наноэлектроники.

	Поверхность пирографита. Видна кристаллическая решетка и отдельные атомы углерода. Растр 17,8·17,8 нм 3D-нанозондовая система «GPI- Cryo-SEM» — сканирующий туннельный микроскоп на базе вакуумной системы СЭМ Supra 40