Оборудование центра

Аналитическое оборудование

1. Времяпролетный масс-спектрометр IONTOF SIMS5 (ION-TOF GmbH, ФРГ) — 2007 г. выпуска.
2. Вторичный ионный масс-спектрометр IMS-4F (CAMECA, Франция) — 1986 г. выпуска.
3. Просвечивающий электронный микроскоп Tecnai G2 F20 U-TWIN (FEI, Нидерланды) — 2009 г. выпуска.
4. Двулучевая FIB-SEM система Quanta 3D 200i (FEI, Нидерланды) — 2011 г. выпуска.
5. Оборудование для пробоподготовки (Fischion Instruments, США) — 2011 г. выпуска.
6. Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп с комплексом диагностики наноструктур Supra 40 (Carl Zeiss, ФРГ) с приставкой INCAx-act (Qxford Instruments) — 2008 г. выпуска.
7. Микроскоп электронный LEO 430 SEM (Carl Zeiss, Германия — Великобритания) — 1992 г. выпуска.
8. 3D-нанозондовая система «GPI- Cryo-SEM» — сканирующий туннельный микроскоп на базе вакуумной системы СЭМ Supra 40 с системой пробоподготовки (Протон-МИЭТ) — 2009 г. выпуска.
9. Класс мультимикроскопов CM-2000 и профилометров модели 130 (ЗАО «Протон-МИЭТ», Россия) — 2008 г. выпуска.
10. Спектрометр Оже PHI-660 (Perkin-Elmer, США) — 1987 г. выпуска.
11. Спектрометр ИК Фурье IFS-113v (Bruker, Германия) — 1988 г. выпуска.
12. Измерительный комплекс Oriel I-V (Newport, США) — 2009 г. выпуска.
13. Рентгеновский дифрактометр ARL X'tra (Thermo Fisher Scientific, Швейцария) — 2010 г. выпуска.
14. Спектрометр электронного парамагнитного резонанса Adani CMS 8400 (Adani, Республика Беларусь) — 2011 г. выпуска.
15. Рамановский спектрометр EnSpectr R532 (ООО «ИнСпектр», Россия)— 2011г.выпуска.
16. Оптический цифровой микроскоп Keyence VHX-2000 ( Keyence, Япония)— 2014г. выпуска.
17. Автоматизированный зарядно-разрядный измерительно-вычислительный комплекс АЗРИВК10-0,05А-5В (ООО "АК Бустер", Санкт-Петербург) — 2015 г. выпуска.
18. Газо-адсорбционный порозиметр Thermo Scientific SURFER (Thermo Fisher Scientific S.p.A., Италия) — 2017 г. выпуска.
19. Источник излучения в виде модели черного тела M345X-LC (LumaSense Technologies, США) — 2017 г. выпуска.

Технологическое оборудование

1. Установка плазмохимического осаждения MINI GOUPYL (Alcatel, Франция)— 1989г. выпуска.
2. Установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab100 (QxfordInstruments)— 2012г. выпуска.
3. Установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (SUSS MicroTec, Германия) – 2012 г. выпуска.
4. Установка магнетронного напыления «Оратория 22» с комплектом регуляторов расхода газа MKS (1179А – 4 шт.) с четырехканальным блоком управления (247D).
5. Установка магнетронного напыления «Оратория 5» с комплектом регуляторов расхода газа MKS (1179А – 4 шт.) с четырехканальным блоком управления (247D).
6. Установка дисковой резки Logitech APD2. (Logitech LTD, Великобритания) — 2014 г. выпуска.
   
7. Установка спрей-нанесения фоторезиста Sawatec iSpray-300. (Sawatec, Швейцария) — 2014 г. выпуска
8. Установка для нанесения плёнок методом "горячей стенки"  ЭЛА-50 (Россия) — 1986 г. выпуска

Уникальные научные установки

1. Установка ионной имплантации с системой RBS анализа K2MV (НVЕЕ, Нидерланды)— 1989г. выпуска.