Услуги ЦКП «Диагностика микро- и наноструктур»
- Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники;
- Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области микросистемной техники:
- глубокое анизотропное плазмохимическое травление (Plasmalab 100)
- двухсторонняя литография (SUSS MJB4)
- Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области химических источников тока (совместно с ИФХЭ РАН):
- изготовление тонкопленочных нанокомпозитных анодов (Оратория 22 с системой РРГ MKS)
- изготовление тонкопленочных нанокомпозитных катодов (Оратория 5 с системой РРГ MKS)
- Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
- Заказной анализ широкого класса объектов методами:
- вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
- времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
- электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
- туннельной сканирующей микроскопии (GPI-Cryo-SEM);
- электронно-ионной сканирующей микроскопии (Quanta 3D 200i);
- просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
- зондовой микроскопии (СММ 2000) и профилометрии (модель 130);
- обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
- оже-спектроскопии (PHI-660);
- ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
- рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
- Рамановской спектрометрии (EnSpectr R532);
- Научно-образовательные услуги:
- повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники;
- поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
- экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.
Доступ к оборудованию центра осуществляется в режиме коллективного пользования, при оформлении заявки. Для самостоятельной работы на оборудовании необходимо иметь соответствующий сертификат и пройти внутреннюю аттестацию.
