Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр IONTOF SIMS5

Виды ВИМС-анализа:

  • Послойный элементный анализ поверхностных слоев наноматериалов и наноструктур методом вторичной ионной масс-спектрометрии, в том числе:
    • послойный анализ функциональных элементов интегральных микросхем,
    • послойный анализа сверхрешеток,
    • контроль дозы легирующих примесей в полупроводниках и структурах на их основе.
  • Количественный элементный анализ наноматериалов различными методами ионной масс-спектрометрии.
  • Физико-химический анализ микрочастиц с размерами менее 0,1 мкм.
  • Трехмерный анализ распределения элементов.
  • Исследования примесей и дефектов в кристаллах и минералах.
  • Физико-химический анализ биоорганических нанообъектов.
  • Количественный микроанализ для геологии и экологии.

IONTOF-SIMS5

Сведения о сертификации:


скачать pdf