Разработка микроэлектромеханических систем (МЭМС)
- На основе технологии "Изолирующие мостики" разработан микромеханический акселерометр навигационного класса
Микромеханический акселерометр - вид сверху
а) Обратная сторона микроакселерометра
б) Крупный план с обратной стороны акселерометра
б) Крупный план с обратной стороны акселерометра
в-г) Крупный план емкостей акселерометра
- Совместно с НИИ ПМ ( прикладной механики) им. Кузнецова разработана конструкция и технология изготовления микромеханического гироскопа
Микромеханический гироскоп - вид сверху
а) Гибкий элемент подвеса чувствительной массы микромеханического гироскопа
б) Гибкий элемент подвеса для регичтрации угловой скорости микромеханического гироскопа
б) Гибкий элемент подвеса для регичтрации угловой скорости микромеханического гироскопа
Работа выполняется ЯФ ФТИАН совместно с ОАО «Раменское приборостроительное конструкторское бюро»
 |
Для продолжения работ в области МЭМС в 2011 г. закуплена установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab 100. Установка плазмохимического травления
|
