Разработка, изготовление и экспериментальное исследование макета элемента памяти на основе SiO2 с включенными нанокластерами кремния:
а) Тестовый чип
б) матрица элементов памяти 3х3
Работа выполнена совместно с Ярославским филиалом Физико-технологического института РАН